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  • Orion III/Phantom III系统
Trion创建于1989年,是一家等离子刻蚀与沉积系统制造商
Trion为化合物半导体、MEMS(微机电系统)、光电器件以及其他半导体市场提供多种设备。 产品在业内以系统占地面积最小、成本低而著称,且设备及工艺的可靠性和稳定性久经考验。 从整套的批量生产用设备,到简单的实验室研发用系统,尽在Trion。

Phantom III反应离子刻蚀系统\

可适用于单个基片、碎片或带承片盘的基片300mm尺寸,为实验室和试制线生产提供最先进的等离子刻蚀能力。
系统有多达七种工艺气体可以用于刻蚀氮化物、氧化物以及任何需要氟基化学刻蚀的薄膜或基片(如碳、环氧树脂、石墨、铟、钼、氮氧化物、聚酰亚胺、石英、硅、氧化物、氮化物、钽、氮化钽、氮化钛、钨以及钨钛)。该设备还可以用于去除光刻胶和有机材料。可选配静电吸盘(E-chuck),以便更有效地在刻蚀工艺中让基片保持冷却。
该工具可选配一个电感耦合等离子(ICP)源。ICP使得用户可以创建高密度等离子,从而提高刻蚀速率和各向异性等刻蚀性能
通过打开室盖,直接将基片装入工艺室。



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